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在高壓電場(chǎng)作用下，產(chǎn)生了大量的高能電子、正負(fù)離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強(qiáng)氧化性的自由基，在極短的時(shí)間內(nèi)氧化、分解廢氣污染物，最終生成二氧化碳和水等穩(wěn)定無害的小分子或化合物，從而達(dá)到降解廢氣物質(zhì)的目的。利用離子法原理來處理廢氣的代表性的產(chǎn)品為：低溫等離子廢氣處理設(shè)備。
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